Ανάπτυξη υμενίων οξεινιτριδίου του πυριτίου από μίγματα τετρα-αιθοξυ-σιλάνης (TEOS), διχλωροσιλάνης (DCS) και αμμωνίας με τη μέθοδο της χημικής εναπόθεσης από την αέρια φάση σε ελλατωμένη πίεση (LPCVD)

Αποθηκεύτηκε σε:
Κύριοι συγγραφείς: Βαμβακάς Β., Δαβάζογλου Δ., Βάχλας Κ., Berjoan R.
Συλλογικό Έργο: Πανελλήνιο επιστημονικό συνέδριο χημικής μηχανικής, ΕΜΠ - Τμ. Χημικών Μηχανικών, ΠΣΧΜ, ΑΠΘ - Πολ. Σχ.- Τμ. Χημικών Μηχανικών, ΙΤΧΗΔ/ΕΚΕΤΑ, ΕΙΧΗΜΥΘ/ΙΤΕ
Κατηγορία Υλικού: Εισήγηση συνεδρίου
Γλώσσα: Ελληνικά
Στοιχεία έκδοσης: Αθήνα : ΕΜΠ-Τμ. ΧΜ , 2001
Πηγή:Πανελλήνιο επιστημονικό συνέδριο χημικής μηχανικής (3ο:2001:Αθήνα) . τ.1
Θέματα:
Γενική θεματική ενότητα:ΧΗΜΙΚΗ ΜΗΧΑΝΙΚΗ - ΧΗΜΙΚΗ ΤΕΧΝΟΛΟΓΙΑ