Ανάπτυξη υμενίων οξεινιτριδίου του πυριτίου από μίγματα τετρα-αιθοξυ-σιλάνης (TEOS), διχλωροσιλάνης (DCS) και αμμωνίας με τη μέθοδο της χημικής εναπόθεσης από την αέρια φάση σε ελλατωμένη πίεση (LPCVD)

Αποθηκεύτηκε σε:
Κύριοι συγγραφείς: Βαμβακάς Β., Δαβάζογλου Δ., Βάχλας Κ., Berjoan R.
Συλλογικό Έργο: Πανελλήνιο επιστημονικό συνέδριο χημικής μηχανικής, ΕΜΠ - Τμ. Χημικών Μηχανικών, ΠΣΧΜ, ΑΠΘ - Πολ. Σχ.- Τμ. Χημικών Μηχανικών, ΙΤΧΗΔ/ΕΚΕΤΑ, ΕΙΧΗΜΥΘ/ΙΤΕ
Κατηγορία Υλικού: Εισήγηση συνεδρίου
Γλώσσα: Ελληνικά
Στοιχεία έκδοσης: Αθήνα : ΕΜΠ-Τμ. ΧΜ , 2001
Πηγή:Πανελλήνιο επιστημονικό συνέδριο χημικής μηχανικής (3ο:2001:Αθήνα) . τ.1
Θέματα:
Γενική θεματική ενότητα:ΧΗΜΙΚΗ ΜΗΧΑΝΙΚΗ - ΧΗΜΙΚΗ ΤΕΧΝΟΛΟΓΙΑ
Φυσική περιγραφή:τ.1, σ.17-20 : πίν., σχ.
Βιβλιογραφία:Βιβλγρ.:σ.20
Εκδότης:ΕΜΠ-Τμ. ΧΜ
ISBN:960-254-562-3
Κωδικός DEWEY:621.38152 - (Τεχνολογία λεπτών υμενίων:Ηλεκτρονική)
620.1122 - (Φυσικοχημικες διεργασιες:Αντοχη υλικων)
660.0113 - (Χημικη μηχανικη-Προσομοιωση με υπολογιστες)
DEWEY Γενικού θέματος:660 - (ΧΗΜΙΚΗ ΜΗΧΑΝΙΚΗ - ΧΗΜΙΚΗ ΤΕΧΝΟΛΟΓΙΑ)